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和远气体获得超纯氨相关专利
发布日期:2025-04-22 09:00:10 来源:特气网
特气网和远气体新获得一项发明专利授权,专利名为“一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺”,专利申请号为CN202210167909.0,授权日为2025年4月4日。
专利摘要:本发明公开了一种制备半导体用超纯氨的装置及工艺,所述装置包括依次连通的汽化单元、用于脱硫脱水的预处理单元、脱轻单元、脱重单元和用以除水、氧和金属的后纯化单元,及用于对汽化单元和精馏系统加热的供热系统;所述装置可便捷高效地除去水、氧及金属等杂质获得超纯氨;此外供热系统的介质既提供热源,又提供冷源,实现连续化节能生产;高低沸点组分的脱除可作为工业氨回收利用,无废气排放。
今年以来和远气体新获得专利授权5个,较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2364.41万元,同比增25.4%。
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