中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司位于河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号,以研究、开发和生产特种电子气体及化学品为主导,从事三氟化氮(NF3)气体的研制和生产已经有30多年的历史,是新产品-高纯三氟化氮的研发、生产基地。PERIC拥有自主知识产权,产品质量达到国际先进水平,尤其是三氟化氮气体纯度达到百分之99.995以上,产品远销日本、法国、美国、新加坡和马来西亚等国家和台湾地区,并与空气化工、林德气体、法国液空和普莱克斯等国际知名企业建立了良好的合作伙伴关系。
特种气体产品
三氟化氮: 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司早在2002年3月就成功研制出百分之99.99的高纯三氟化氮气体的生产工艺,是国内率先研制成功百分之99.99的高纯三氟化氮气体的单位,填补了我国的一项科研空白,该项研究成果通过省级鉴定,并迅速实现工业化生产,现有生产规模达到3000吨/年以上。目前,我单位投资40亿元建设的肥乡工业园区项目将建成12000吨/年生产线,预计一期将于2017年8月产气。产品广泛应用于半导体、液晶显示器和薄膜太阳能电池等领域。特种气体工程部今后还将不断扩大三氟化氮生产规模,满足不断扩大的市场需求。
六氟化钨: 中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司从事六氟化钨的研发生产已有十余年的时间,现已建成300吨/年的高纯(百分之99.9999)六氟化钨生产线,正在建设1000吨/年的生产线,预计一期将于2017年8月底产气。填补了国内空白,产品指标处于国际较高水平,产生了良好的社会效益和经济效益。特气工程部生产的高纯六氟化钨(WF6)气体产品拥有自主知识产权,产品质量达到国家先进水平。获得河北省科技进步二等奖,邯郸市科技进步一等奖等荣誉。
三氟甲磺酸及其系列产品
特气工程部从事三氟甲磺酸及系列产品的研发生产已有十余年的时间,现已建成200t/a的三氟甲磺酸产品生产线及50t/a的三氟甲磺酸酐产品生产线。于此同时,我工程部相继开发出了三氟甲磺酸系列产品三氟甲磺酸三甲基硅酯、双三氟甲基磺酰亚胺锂及三氟甲磺酸锂等产品。特气工程部生产的三氟甲磺酸产品,拥有自主知识产权,产品指标处于国际较高水平,产生了良好的社会效益和经济效益。
“02专项”产品简介
中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司于2012年成功申请了国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项中的“高纯电子气体研发与产业化项目”(以下简称“02专项”),负责其中9种气体及10种混合气体的研发工作。分别是:三氟化氮、六氟化钨、四氟化硅、六氟乙烷、八氟环丁烷、八氟丙烷、氟化氢、氯化氢、碳酰氟等9种高纯特种气体及其他10种混合气体。
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