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六氟丁二烯作为干法刻蚀气体，相对于传统的全氟刻蚀气，具有环境友好，刻蚀精度高、选择性好等优点。本文对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍，并对其工业化生产现状做了简单描述。   ...

湿度是气体纯度的一项重要指标，其数值直接关系到企业产品质量和生产安全。由湿度衍生出的各种原理的湿度仪种类繁多，优缺点各异。本文主要介绍若干常见湿度仪的种类和原理，常用新型传感器的种类和原理，当前湿度仪校准的常规...

阐述了采用气相色谱法加中心切割、反吹的方法测定高纯四氟化碳中的微量三氟化氮杂质，此方法可靠，操作简单。通过多次实验过程中的分析条件进行优化，从而达到有效的色谱分离度。并对目前四氟化碳的生产制备及分析方法做了简单...

气瓶在检测过程中，需要对气瓶上的瓶阀进行安装和卸载，所以瓶阀装卸是气瓶检验过程中的重要一步，现有的瓶阀装卸机在装卸瓶阀时，一次只能装卸一支气瓶，并且，在整个装卸瓶阀的过程中都需要操作人员进行操作，待装卸瓶阀的气...

氪氙精制流程中分子筛系统的工作效率直接决定着产品的合格率。本文针对稀有分子筛出现的一次故障从设备结构、工艺运行等方面，对故障产生的原因、故障的查找以及今后的控制预防措施等方面全面的进行了分析。最终达到了氪氙精制...

采用称量法，使用不同处理方式的铝合金气瓶制备微量氟化氢标准气体，对微量氟化氢制备的适用气瓶进行筛选。选用吸附性较小的气瓶，对其进行预饱和处理，考察了预饱和氟化氢样品的浓度、预报和时间和残留压力对微量氟化氢标准气...

通过测定十几个大型煤化工装置低温甲醇洗出口合成气中的硫含量有时超标＞0.1×10-6（V/V），提出对低温甲醇洗出口合成气进行深度净化的必要性；通过测定失活甲醇催化剂的吸硫量，进行合成气中总硫含量、甲醇催化剂使...

本自动配气装置的开发和研究对于多元化高危、极易燃、极易爆气体的配制提供了坚实的前期条件，最大程度的进行了人机隔离，把可控风险降到控制范围以内。将以往的高危工作转化为普通工作，颠覆国内外气体自动配制技术行业。为标...

中国是世界电子产品的制造中心，全球有过半以上的各类电子产品由中国大陆生产制造，与之不对称的是制造这些产品所需要的高档芯片几乎全部依赖进口，最近几年其进口值超过原油，高达2200亿美元。为此，中央及地方政府相继出...